碳化硅衬底类型及应用简述
公司资讯 / 2024-12-04
碳化硅衬底是一种重要的半导体材料,具有高温、高频、高压、高功率等优异特性。它广泛应用于功率器件、射频器件、光电器件等领域,是现代电子技术中不可或缺的材料之一。本文将从碳化硅衬底的类型和应用两个方面,详细阐述这一材料的特点和优势。 碳化硅衬底的类型 4H-SiC衬底 4H-SiC衬底是碳化硅衬底中应用最广泛的一种。它具有晶体质量好、晶格匹配性高、电学性能优异等特点。4H-SiC衬底可以制备出高质量的SiC外延膜,因此在功率器件、射频器件、光电器件等领域得到广泛应用。 6H-SiC衬底 6H-Si