碳化硅晶体 碳化硅晶体生长炉
产品中心 / 2024-02-26
随着科技的不断发展,人们对于新材料的需求越来越高,而碳化硅晶体就是其中一种备受瞩目的新材料。碳化硅晶体具有高硬度、高热导率、高耐腐蚀性等优点,广泛应用于电力电子、光电子、半导体等领域。而碳化硅晶体的生长技术也是制备高质量碳化硅晶体的关键之一。碳化硅晶体生长炉就是一种用于生长碳化硅晶体的设备,下面将从多个方面对其进行详细阐述。 1. 碳化硅晶体生长炉的结构 碳化硅晶体生长炉的结构一般由炉体、炉盖、加热元件、温度控制系统、气体供应系统、真空系统等组成。其中,炉体一般采用高纯度石墨材料制成,具有较好